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ウェハーBump3次元トポグラフィー測定
製品説明：
ウェハー3次元再構成、オンラインフルサイズ測定。
製品メリット：
非接触高速スキャン、チップBumpの高さと幅、ピッチ、コプラナリティを測定することができる。
コプラナリティ